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摘要
提出了模拟KrF激光器的三维动力学方法.该方法与以往的动力学方法的主要区别在于考虑了电子束抽运的空间非均匀性.即将电子束抽运速率作为空间各点(X,Y,Z)及时间(t)的函数.用三维模拟方法对96101702实验进行了计算.总的激光输出及镜面能量分布与实验符合相当好.解决了以往模型理论明显高于实验的问题

关键词:
KrF激光器/

三维动力学模型/

电子束抽运
Abstract
A three-dementional(3D) kinetic model method for KrF laser is presented. The major difference between the method and the previous kinetic method for KrF laser is that the space nonuniform for the electronic pump is considered. The pump rate is considered as a function of 3D-space (X,Y,Z) and time (t). Using the 3D model method, 96101702 experiment is simulated . The calculated laser energy output and lens energy distribution is in agreement with the experimental results. The problem that the calculated result of 1D model is obviously-higher than the experimental result is solved.

Keywords:
KrF laser/

three dementional model/

electronic beam pump
作者及机构信息
张春斌¹,

巫德章¹,

张路¹,

单玉生²,

王乃彦²
Authors and contacts
ZHANG CHUN-BIN¹,

WU-DE-ZHANG¹,

ZHANG LU¹,

SHAN YU-SHENG²,

WANG NAI-YAN²
参考文献

施引文献

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