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史寒旭, 李欣阳, 张钰如, 王友年
cstr: 32037.14.aps.74.20250341

Numerical investigation of the secondary electron effect in capacitively coupled plasmas driven by ultra-low frequency/radio frequency sources

SHI Hanxu, LI Xinyang, ZHANG Yuru, WANG Younian
cstr: 32037.14.aps.74.20250341
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出版历程
  • 收稿日期:  2025-03-15
  • 修回日期:  2025-04-14
  • 上网日期:  2025-05-07
  • 刊出日期:  2025-07-05

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